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旋转接头以及溅射装置

发布日期:2020-04-27 14:34:58 访问次数:144

旋转接头具备:具有插通孔,且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、插通于筐体的插通孔,能够相对于旋转轴相对于筐体相对旋转的轴体单元、被设置在沿旋转轴方向形成在轴体单元内、且用于与导入口连通的一号轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间,用于切换流体的流量的切换部件。旋转接头切换部件具有一号孔和比一号孔的直径小、且比一号轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路的直径小的第二孔。通过旋转接头切换部件,能够改变在一号轴体单元导入路流动的流体的流量以及在第二轴体单元导入路流动的流体的流量。
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